에너지 필터링된

에너지 필터링된 MEP

MEP 실험 데이터는 색수차(Cs) 보정기와 Gatan K3 카메라가 장착된 JEM-ARM300F2 Grand ARM2 현미경을 사용하여 획득했으며, 이 현미경은 칭화대학교 분광 시스템 하류에 설치되었습니다. 이 설정에서, 시료 표면 위 약 20nm 또는 40nm(전자 현미경 화면에 초점 이탈 상태 표시)에 위치한 초점이 흐려진 전자 프로브가 시료 전체를 스캔하고, 각 스캔 지점에서의 회절 패턴이 픽셀화된 검출기에 수집되어 4차원 STEM(4D-STEM) 데이터 세트를 구성합니다. 이 데이터 세트는 MEP 재구성 알고리즘(FoldSlice 패키지 20 사용 )의 입력으로 사용되며, 이 알고리즘은 시료 내 원자 전위를 직접적으로 나타내는 3차원 위상 객체를 생성합니다. MEP 알고리즘에서 고려되지 않는 비탄성 산란 효과를 완화하기 위해 데이터 세트 획득 시 제로 손실 에너지에 중심을 둔 5 eV의 전폭을 갖는 에너지 슬릿을 적용하여 재구성된 MEP 이미지의 정확도를 향상시켰습니다. 전자 프로브는 24.3 mrad의 수렴 반각과 10 pA의 빔 전류를 사용했습니다. 각 4D-STEM 데이터 세트는 분광기 뒤에 설치된 Gatan K3 카메라를 사용하여 획득했습니다. 데이터 세트는 100 × 200 또는 200 × 400의 회절 패턴을 포함했습니다. 약 0.524 Å의 스캔 단계 크기와 0.8 ms의 체류 시간(고속 모드)을 사용하여 2 × 10⁵ e  /Ų 의 전자 선량을 얻었습니다 . MEP 재구성은 1nm의 슬라이스 두께로 수행되었으며, 그 결과 약 2.3nm의 깊이 해상도(반치폭, FWHM 80)를 얻었습니다. 관련 매개변수는 표 S1 및 S2 에 나와 있습니다 .

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